技术概要

玻璃芯技术即玻璃通孔TGV;能制作极度微型化和集成度的高性能电子元器件,也可用作玻璃转接板、智能玻璃基板和微结构玻璃基板。

TGV由高品质硼硅玻璃、石英玻璃为基材,通过种子层溅射,电镀填充,CMP平坦化,RDL在布线,bump工艺引出,实现3D互联。这样就提供芯片与封装互连的低损耗输出端,以及比传统硅基转接板更低的成本。

通过工艺整合可以定制不同结构的产品,进而实现多样化功能,具有成本低,损耗低,集成高,响应快,信赖性可靠,加工灵活度大等明显优势,是新一代微电子需求的理想之选。广泛应用于微波通信,射频前端,生物检测,激光雷达,芯片封装等。

玻璃芯技术路线

肖特AF32,D263

BF33

康宁EXG

石英

通孔/盲孔形成

各向同性刻蚀

厚度0.3-0.7

表面Ra<10nm

通孔/盲孔锥度<8度

孔径 > 30um

通孔填充

CMP工艺

表面多层布

表面多层布线

Cu Pillar

Solder Bump

Glass Via
Cu Via

应用领域

汽车MEMS传感器
汽车MEMS传感器
5G射频前端无源器件
5G射频前端无源器件
主动图像与激光雷达
主动图像与激光雷达
医疗微流控
医疗微流控
TGV MEMS WAFER
TGV MEMS WAFER
射频集成器件
射频集成器件
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