相比硅基板,玻璃基板具有低损耗,高线性度,高频性能好等优良特性,适合高速信号的互连应用,可以降低互连的损耗和失真,提高信号传输速率。
TGV技术使玻璃衬底可以批量较低成本获得和基板一样的通孔能力,可以在背部进行互连和引出,同时具有先进工艺的精度,适合对性能和集成度要求高的先进封装应用。
玻璃通孔互连平台支持面板制造方式。面板面积相对晶圆大幅提升,且面积利用率更高,不仅更适合支持更大封装尺寸的互连,也具有更低的批量生产成本。
硼硅玻璃、无碱玻璃、钙钠玻璃、石英玻璃...等
4/6/8/12寸晶圆及面板级;
厚度 ≤1mm
通孔 Φ≥10um,真圆度≥98%;
盲孔 Φ≥10um,高径深比;
环切 圆/方/异形孔
超高效率5000个/S、冷加工方式无热应力、湿法工艺崩边为0、高精度加工2um内
孔内金属填充、表面金属化、RDL工艺、键合减薄工艺、可结合MEMS Process