无源器件作为电子系统应用中随处可见,数量庞大的器件,被称为电子血液,在电子系统中占据重要地位。集成无源器件通过使用集成电路薄膜工艺,区别于传统印刷和烧结等厚膜工艺,具有工艺更稳定精确可靠,是解决系统模组化高集成度的关键技术。随着逻辑芯片,存储芯片和其他晶体管器件的尺寸降低,密度增加,提升无源器件的集成度和小型化能力,是电子系统模组化的关键内容。
森丸IPD具有IPD器件的固有高集成度小型化特点外,独具玻璃通孔工艺能力,使得IPD器件性能进一步提升,兼具高性能高可靠性和批量一致性等优秀特点,从而使能更多无源集成和系统小型化,具有广泛市场应用。通过森丸MEMS和深硅等特别制程能力,亦可集成更高密度电容和电感,在电源完整性领域提供集成方案。
射频前端
大部分的射频前端应用有进一步模组化的需求。一方面,大大增加了前端的集成度。同时,提升了系统可靠性和易用性。多种无源特性的集成,包括匹配,滤波,巴伦,耦合,功率合成等,可更大降低器件尺寸,提升器件性能。IPD是适合射频前端高集成度需求的无源解决方案。
MHz应用
相比射频应用,MHz应用由于其波长相对较长,器件往往很大。而如果此类器件应用于星载,车载,弹载等雷达或通讯应用中时,器件显然过大过重。此时,IPD技术将为这类无源器件小型化应用提供解决方案。
毫米波应用
毫米波领域的应用潜力正在被激发。使用玻璃基底IPD工艺可以满足毫米波无源器件对加工精度的要求,也可以进一步体现玻璃材质的高频性能优势。
电源管理应用
高效率高性能电源管理,对复杂和高性能计算领域越发关键。而其中,高性能无源器件的集成是关键。
高速数字信号/EMI应用
数字传输信号速率越高,对共模和噪声抑制要求越高,超宽带和共模抑制滤波器是IPD的有效利用场景。
森丸IPD工艺平台
主要包括2D工艺平台,3D工艺平台及沟槽电容平台等。2D平台具有更好成本及精确加工能力,适合耦合型器件应用。3D平台具有额外的通孔连接能力,可充分利用其金属化和纵向工艺空间,实现更高Q值电感,适用于滤波器等高Q值应用场景。
工艺选项
在平台框架下提供多样工艺选项,包括多种电容密度,通孔尺寸/深度,金属层数/厚度,是否包含TFR/MIM等。
后道支持
通过集成电路工艺制造的IPD器件,具有和其他芯片合封的天然条件。森丸IPD工艺平台支持各种封装方式,包括打线,倒装,植球等等。