陶瓷芯技术即基于陶瓷的特殊特性,结合微纳加工工艺制作高性能电子元器件、封装载板等,在汽车电子元器件,高可靠性封装载板,光通信/激光雷达Lidar、工业激光泵浦等领域有广泛的应用前景。
基底材料:Al2O3、AlN、SiC、金刚石、蓝宝石等
工艺内容:薄膜微纳工艺、厚膜印刷混合工艺
森丸优势:
具备独立自主的厚铜成膜工艺,高压大电流及CTE热膨胀系数匹配
可配合Au/Sn焊料预置on基板
TCV(Through Ceramic Via)填孔工艺,可实现3D封装
厚膜高精度印刷及高温网带烧结
成熟的侧面金属化工艺
陶瓷芯技术路线