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技术概要

陶瓷芯技术即基于陶瓷的特殊特性,结合微纳加工工艺制作高性能电子元器件、封装载板等,在汽车电子元器件,高可靠性封装载板,光通信/激光雷达Lidar、工业激光泵浦等领域有广泛的应用前景。

基底材料:Al2O3、AlN、SiC、金刚石、蓝宝石等

工艺内容:薄膜微纳工艺、厚膜印刷混合工艺

森丸优势:

具备独立自主的厚铜成膜工艺,高压大电流及CTE热膨胀系数匹配

可配合Au/Sn焊料预置on基板

TCV(Through Ceramic Via)填孔工艺,可实现3D封装

厚膜高精度印刷及高温网带烧结

成熟的侧面金属化工艺

陶瓷芯技术路线

Substrate
Substrate

Al2O3、AlN、SiC、Sapphire、Glass etc

Drilling
Drilling

By laser

Seed layer
Seed layer

By PVD

Metallization
Metallization

By ECP

AuSn pad on metallization
AuSn pad on metallization

Au/Sn 70~80/20~30 wt

应用领域

激光器模组
激光器模组
工业泵浦
工业泵浦
压电陶瓷打印机
压电陶瓷打印机
生物医疗
生物医疗
汽车传感器
汽车传感器
自动驾驶
自动驾驶
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